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4H-N碳化硅晶錠生產(chǎn)商激光冷切割冷剝離

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱蘇州恒邁瑞材料科技有限公司
  • 品       牌其他品牌
  • 型       號6'碳化硅
  • 所  在  地蘇州市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2024-10-31
  • 訪問次數(shù)517

蘇州恒邁瑞作為AlGaN/GaN硅基HEMT及碳化硅基氮化鎵外延片生產(chǎn)廠商,為客戶定制生產(chǎn)4英寸,6英寸碳化硅基GaN-on-SiC氮化鎵外延片,增強(qiáng)型/耗盡型硅基GaN-On-Si氮化鎵功率外延片,以及藍(lán)寶石基氮化鎵外延片,可應(yīng)用于制作各種中低高功率器件,射頻微波器件。同時可供應(yīng)D4英寸SiC碳化硅晶棒,6英寸碳化硅SiC晶錠,8英寸碳化硅單晶體及碳化硅襯底晶片,可為客戶提供加工測試DummySiC晶棒設(shè)備(多線切割機(jī)/激光切割機(jī),晶錠研磨機(jī),晶體晶棒拋光機(jī))所用的4H-N(導(dǎo)電型)碳化硅As-cut切割片,碳化硅晶錠晶棒,4H-SI(半絕緣型)Raw-cut切割片及碳化硅晶錠晶體。N型碳化硅襯底晶片和SI半絕緣型碳化硅襯底晶片可提供4英寸,6英寸及8英寸。碳化硅襯底晶片可廣泛應(yīng)用于N型摻雜NP型摻雜Al)碳化硅同質(zhì)外延片、碳化硅基GaN-On-SiC氮化鎵外延片等

 

硅基氮化鎵外延片,碳化硅基GaN外延片,碳化硅晶棒,碳化硅SiC切割片,碳化硅襯底晶片,碳化硅同質(zhì)外延片,氮化鎵襯底片
產(chǎn)地 國產(chǎn)
恒邁瑞專注于生產(chǎn)高質(zhì)量4H-N碳化硅晶錠,并為激光冷切割設(shè)備激光冷剝離設(shè)備生產(chǎn)商供應(yīng)6英寸導(dǎo)電型碳化硅晶錠。
4H-N碳化硅晶錠生產(chǎn)商激光冷切割冷剝離 產(chǎn)品信息

4H-N碳化硅晶錠生產(chǎn)商激光冷切割冷剝離

恒邁瑞專注于生產(chǎn)高質(zhì)量4H-N碳化硅晶錠,并為激光冷切割設(shè)備激光冷剝離設(shè)備生產(chǎn)商供應(yīng)6英寸導(dǎo)電型碳化硅晶錠。

激光冷切割技術(shù)先用激光照射晶錠形成剝落層,使碳化硅材料內(nèi)部體積膨脹,從而產(chǎn)生拉伸應(yīng)力形成一層非常窄的微裂紋,然后通過聚合物冷卻步驟將微裂紋處理為一個主裂紋,最終將晶圓與剩余的晶錠分開。

 

該技術(shù)具有以下優(yōu)勢:1)每片晶圓總切口損失小于100μm;2)SiC晶圓的良率提高90%;3)該技術(shù)大幅減少了SiC晶圓生產(chǎn)過程中的原材料損耗,可以提供3倍的材料,最終SiC器件產(chǎn)能提高近2倍,成本降低20-30%。以單個20mm的SiC晶錠為例,采用多線切割技術(shù)可生產(chǎn)30片350μm的晶圓,而采用冷切技術(shù)能將單片晶圓厚度減少到200μm,晶圓產(chǎn)量提高到超80片。



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