6英寸測試級碳化硅晶體生產(chǎn)廠家 激光冷切割設(shè)備
采購6英寸N型碳化硅晶體測試設(shè)備,可選擇蘇州恒邁瑞公司,專業(yè)供應(yīng)4英寸至6英寸碳化硅晶棒,碳化硅切割片及碳化硅襯底晶片,單根碳化硅晶棒厚度約為20mm。D級測試級碳化硅晶體可用于激光冷切割設(shè)備,多線切割設(shè)備等測試用。
作為第三代半導(dǎo)體材料,碳化硅相較于硅材料,具有大禁帶寬度、高擊穿電場、高飽和電子漂移速度、高熱導(dǎo)率、高抗輻射等特點(diǎn),適合制造高溫、高壓、高頻、大功率的器件。
目前碳化硅主流的切割方式分為砂漿線切割、金剛線切割、激光切割(水導(dǎo)激光、激光剝離、激光冷切割)。
對于國內(nèi)廠商而言,砂漿線切割技術(shù)已應(yīng)用于絕大部分碳化硅襯底廠商,金剛線切割技術(shù)也成為了主流迭代方案。盡管金剛線相較于砂漿線切割優(yōu)勢明顯,但仍存在一些問題:
1、加工效率較低。碳化硅晶錠的長度較短,使用多線切割技術(shù)需要先將多個晶錠進(jìn)行拼接,降低了加工效率。
2、材料損耗率高。加工過程中,切割線會將部分碳化硅材料削磨成碎屑從而產(chǎn)生鋸口損失,并且高速運(yùn)動會在材料表面形成粗糙切痕,導(dǎo)致材料損耗率高達(dá)50%。
3、設(shè)備及耗材壽命短。在切割時,金剛線磨損嚴(yán)重,切割線的使用壽命以及晶片的翹曲度都受到影響。
4、耗材成本高。金剛線的單位成本高于砂漿線,頻繁更換易磨損的金剛線會增加加工成本