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蘇州清芯卓半導(dǎo)體設(shè)備有限公司


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清芯卓RCA清洗機(jī)

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參  考  價(jià):￥500000 - ￥1200000 /件
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 產(chǎn)品型號

  • 品牌

    其他品牌

  • 廠商性質(zhì)

    生產(chǎn)商

  • 所在地

    蘇州市

聯(lián)系方式：楊麗華查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2025-04-11 11:22:41瀏覽次數(shù)：55次

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產(chǎn)品簡介

RCA槽式清洗機(jī) 是一種主要用于去除硅片表面各類玷污，是半導(dǎo)體制造過程中被廣泛應(yīng)用的工藝。 主要由兩只 石英加熱缸 、兩套溫度控制系統(tǒng)（石英缸數(shù)量可根據(jù)客戶要求而定）、兩只快速噴淋排水槽（QDR）、兩套噴淋控制系統(tǒng)、一只 氫氟槽 、一只 一階溢流槽 、一只 三階溢流槽 、兩套 吸酸排放器 等構(gòu)成。 技術(shù)特點(diǎn) 多道配方選擇：采用 PLC自動(dòng)控制，設(shè)有多道配方供客戶選擇，滿足不同工藝需求。

詳細(xì)介紹

晶片規(guī)格：

2-12〞單、雙cassette

主要材料:

金屬骨架+PP/PVC殼體，槽體材質(zhì)PP/PVDF/PTFE

/石英

工藝槽功能：

循環(huán)過濾+加熱冷卻+供液

基礎(chǔ)工藝流程:

SPM→HQDR→SC-1→QDR→SC-2→QDR→DHF→QDR→IPA（可增減）

設(shè)備類型：

手動(dòng)/半自動(dòng)/全自動(dòng)（定制）

Footprint : 7000 (W) x 2200 (D) x 2100(H) mm（非標(biāo)）

RCA槽式清洗機(jī) 是一種主要用于去除硅片表面各類玷污，是半導(dǎo)體制造過程中被廣泛應(yīng)用的工藝。


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