高精度晶圓測(cè)溫 熱電偶測(cè)溫系統(tǒng)

引言

等離子蝕刻（Plasma Etching）是一種將化學(xué)和物理過(guò)程相結(jié)合的加工技術(shù)，用于在材料表面形成精確的圖案和結(jié)構(gòu)。

溫度對(duì)等離子蝕刻的影響：

蝕刻速率： 溫度可以影響等離子體中離子的能量和移動(dòng)性，從而影響蝕刻速率。一般來(lái)說(shuō)，溫度升高會(huì)增加離子的動(dòng)能，導(dǎo)致蝕刻速率的增加。

選擇性： 溫度的變化可能影響不同材料的蝕刻速率，從而影響選擇性。在一些情況下，調(diào)整溫度可以?xún)?yōu)化特定材料的選擇性蝕刻。

表面質(zhì)量： 溫度的變化可能影響表面的化學(xué)反應(yīng)速率，從而影響蝕刻的表面質(zhì)量。過(guò)高或過(guò)低的溫度可能導(dǎo)致不理想的表面結(jié)構(gòu)。

邊緣效應(yīng)： 溫度變化可能引起邊緣效應(yīng)，即在材料的邊緣區(qū)域蝕刻速率不同于中心區(qū)域，影響結(jié)構(gòu)的精度和均勻性。

溫度控制在等離子蝕刻中的作用：

在等離子蝕刻過(guò)程中，溫度控制是非常重要的，因?yàn)闇囟鹊淖兓赡軐?duì)蝕刻結(jié)果產(chǎn)生影響。合理的溫度控制可以帶來(lái)以下好處：

蝕刻穩(wěn)定性： 穩(wěn)定的溫度有助于蝕刻過(guò)程的穩(wěn)定性，減少蝕刻速率的波動(dòng)，從而獲得更一致的加工結(jié)果。

選擇性控制： 在特定溫度下，可以實(shí)現(xiàn)特定材料的選擇性蝕刻，優(yōu)化圖案制備過(guò)程。

產(chǎn)品質(zhì)量： 控制溫度可以減少表面缺陷和邊緣效應(yīng)，提高產(chǎn)品的質(zhì)量和一致性。

工藝可重復(fù)性： 穩(wěn)定的溫度條件有助于確保不同批次或不同設(shè)備下的蝕刻過(guò)程的可重復(fù)性。

智測(cè)電子晶圓溫度測(cè)量系統(tǒng)，可用于記錄等離子蝕刻工藝環(huán)境對(duì)真實(shí)工藝條件下生產(chǎn)晶圓的影響。 高精度溫度傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓整體溫度監(jiān)測(cè)，這與導(dǎo)體蝕刻工藝的 CD 均勻性控制密切相關(guān)。通過(guò)測(cè)量與產(chǎn)品工藝接近條件下的溫度數(shù)據(jù)，可以幫助工藝工程師完成調(diào)整蝕刻工藝條件，驗(yàn)證及匹配腔體、和PM后的驗(yàn)證等工作。

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