點(diǎn)自動(dòng)對(duì)焦3D形狀測(cè)量機(jī)MLP-3產(chǎn)品參數(shù),另有高精度MLP-3SP(0.001um)可供選擇,歡迎咨詢。
移動(dòng)范圍 (X,Y,Z,AF(R),AZ(θ)) | X:60 x Y:60 x Z:60mm AF(R) 40mm AZ(θ) 360 |
X-Y 軸分辨率 | 0.1um |
Z 軸分辨率 | 0.1um |
R 軸分辨率 | 0.01um |
激光點(diǎn)直徑 | 1um |
激光 | 半導(dǎo)體激光(o/p:1mW Max. λ= 635nm) |