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蘇州清芯卓半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
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更新時間:2025-04-11 11:02:34瀏覽次數(shù):59次
聯(lián)系我時,請告知來自 機(jī)床商務(wù)網(wǎng)產(chǎn)地 | 國產(chǎn) | 售后保修期 | 12個月 |
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銷售區(qū)域 | 全國,華東,華南,華北,華中,東北,西南,西北,港澳臺 |
線性布局,自動傳片,自動完成去膠工藝。 晶圓尺寸根據(jù)用戶需求。 腔體共有三層,每層都有單獨的藥液排放 循環(huán)功能。 清洗多種金屬顆粒和有機(jī)物殘留。 藥液在循環(huán)中,根據(jù)顆粒大小配備相應(yīng)過濾系統(tǒng)。 藥液恒溫,或在線加熱供給功能。 剝離(lift off)適應(yīng)化學(xué)藥液——NMP是N-甲基吡咯烷酮,一種有機(jī)物。 是高壓供給藥液,高溫藥液。 避免暴露,密封保存。 優(yōu)良高級溶劑,是選擇性強(qiáng)和穩(wěn)定性好的極性溶劑。
晶片規(guī)格:
2-8〞單、雙cassette
主要材料:
金屬骨架+PP/PVC殼體,槽體材質(zhì)PP/PVDF/PTFE/石英
工藝槽功能:
循環(huán)過濾+加熱+拋動+回收
基礎(chǔ)工藝流程:
Cu→QDR Ti→QDR Al→QDR
設(shè)備類型:
手動/半自動/全自動(定制)
Footprint : 2000 (W) x 1400 (D) x 2000(H) mm(非標(biāo))
適用于芯片大批量超精密集中清洗,PLC控制系統(tǒng),中/英文操作界面,程序方便設(shè)置。
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