機床商務(wù)網(wǎng)
詳細介紹
特點
- 儲片盒和片盒間晶圓的無損傷自動搬運
- 可選裝針對減薄晶圓的伯努利手指
- 自動識別儲片盒內(nèi)晶圓和墊紙（層間紙）
- 可自動識別儲片盒內(nèi)晶圓的當前高度
- 可滿足客戶對多個片盒及不同尺寸晶圓傳輸?shù)男枨?/li>
- 搭載儲片盒自動開蓋機構(gòu)（已申請）
- 可對應(yīng)Achilles Corporation公司生產(chǎn)的儲片盒
- 配備2套高效過濾裝置(HEPA規(guī)格),確保設(shè)備內(nèi)部潔凈度
- 配備顏色視覺傳感器,能夠分辨不同顏色的墊片(片間墊紙)
可安全準確的搬運儲片盒的的薄片。
應(yīng)用設(shè)備實例
半導(dǎo)體工廠生產(chǎn)線
規(guī)格
| 可對應(yīng)片盒的種類 | 200 mm 儲片盒, 200 mm 片盒 | |||
|---|---|---|---|---|
| 被搬運物 | 200 mm 硅晶圓, 200 mm 儲片盒內(nèi)墊片(片間墊片) | |||
| 潔凈度 | ISO標準 Class 2 (驅(qū)動結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨立排氣條件下) | |||
| 外形尺寸 | 1100 (寬) x 980 (深) x 1805 (高) | |||
| 廠務(wù) | 電源：AC200V±10% 潔凈氣源：0.5 MPa 250 NL/min 以上 | |||
| 重量 | 600 kg | |||
*我司可以針對客戶對晶圓尺寸，儲片盒數(shù)量，是否需要校準器等不同需求提供定制設(shè)計。
可對應(yīng)多家廠商規(guī)格的儲片盒。有關(guān)產(chǎn)品規(guī)格及產(chǎn)品相關(guān)詳細信息請咨詢我司銷售人員。
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