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技術(shù)文章

uvw精密對位平臺是什么?有什么用?

閱讀:1340          發(fā)布時間:2022-6-3

目前,uvw精密對位平臺的應(yīng)用主要是半導(dǎo)體行業(yè)的晶圓切割、封裝檢測、絲網(wǎng)印刷機、貼合機等有高速、高精度需求的行業(yè),它們基本上是定位平臺使用者的。

 

在今后的快速發(fā)展中,將有更多的行業(yè)應(yīng)用定位平臺,使定位平臺更加精細。

 

談?wù)剣a(chǎn)、中國臺灣、日本等地生產(chǎn)的定位平臺吧。 其實UVW校準(zhǔn)平臺的結(jié)構(gòu)比較簡單,無論是國產(chǎn)還是其他地區(qū)其實都差不多,主要核心部件是軌道和絲杠,主要是國產(chǎn)軌道絲杠的精度和耐磨性不如日本瑞士的好。

 

其實我相信我們的加工和組裝能力是直線上升的,質(zhì)量也在不斷提高。

 

需要組合任意2個工件,可以使用校準(zhǔn)工作臺。 但是,并不是所有工件的組裝都需要校準(zhǔn)工作臺。 因為不需要那么高的精度。 校準(zhǔn)工作臺的精度可以達到1微米,芯片的印刷使用這個精度。 變低了。 就像手機屏幕的貼合一樣,使用精度也在3微米以內(nèi)。 常用的校準(zhǔn)平臺有xyθ結(jié)構(gòu)、5M結(jié)構(gòu)、UVW結(jié)構(gòu)3種。 雖然這些結(jié)構(gòu)不同,但核心功能都是定位,通過x軸移動、y軸移動、θ軸旋轉(zhuǎn)實現(xiàn)定位功能。 UVW校準(zhǔn)平臺是日本人發(fā)明的,由上板、下板、四個單體組成。 UVW3個動力軸、x軸方向2個電機( VW)y軸方向1個電機( u )、x2個電機聯(lián)動實現(xiàn)x軸移動,y1個電機控制y軸移動,x2個異步實現(xiàn)θ軸旋轉(zhuǎn)。 這樣,通過控制3個電機實現(xiàn)了x、y的移動、θ軸旋轉(zhuǎn)的定位。  由于XYθ結(jié)構(gòu)的工作臺結(jié)構(gòu)簡單,所以無論是國產(chǎn)還是其他都一樣。 核心部件是軌道和絲杠。 國產(chǎn)軌道絲杠的精度和耐磨性沒有日本和瑞士好,所以是的。 UVW結(jié)構(gòu)的平臺和5M結(jié)構(gòu)的加工和組裝難度直線上升,其中區(qū)別可以是幾千字。

 

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