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高激光脈沖能量有利于哪些方面？
閱讀：169 發(fā)布時間：2021-9-14
首先，提高了靶材料的沉積速率。根據(jù)激光脈沖能量不同，可以達(dá)到每分鐘幾微米。
其次，在給定的流量下，能夠在靶上燒蝕更大的面積。面積的擴(kuò)大提高了沉積速率，降低了羽輝的角度，從而達(dá)到更高的沉積效率。
產(chǎn)生的波長為193nm和157nm的高光子能量提供了更大的加工窗口，也可以對透明聚合物和硬的靶樣品在遠(yuǎn)大于燒蝕閾值的情況下進(jìn)行穩(wěn)定成功的材料燒蝕。更緊湊的能夠輸出能量在200mJ與500mJ之間的高能脈沖，同時具有的脈沖－脈沖穩(wěn)定性（通常為0.5%，1）。