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精密工程通?？梢员欢x為“對(duì)下一個(gè)小數(shù)點(diǎn)的追求"。精密測(cè)量技術(shù)和裝置是制造技術(shù)的重要支撐，近幾十年來，在航空航天技術(shù)和軍事技術(shù)需求的帶動(dòng)下，零件的機(jī)械加工精度越來越高，已經(jīng)達(dá)到了微米和亞微米級(jí)。我國目前已經(jīng)成為制造業(yè)大國，是世界上制造業(yè)發(fā)展較為的國 家，機(jī)械零件的年產(chǎn)出量保持高速增長(zhǎng)。在精密制造領(lǐng)域，圓柱體回轉(zhuǎn)類零件是機(jī)器運(yùn)轉(zhuǎn)的基礎(chǔ)性零件，主要包括高精度軸類零件、軸承類零件、汽車活塞、陀螺及缸類閥類零件，例如電腦硬盤的高速軸承旋轉(zhuǎn)精度指標(biāo)為0.1μm；陀螺的圓度誤差增加2nm就會(huì)導(dǎo)致其質(zhì)心相對(duì)于軸線產(chǎn)生0.5nm的誤差，這些誤差直接體現(xiàn)在命中精度會(huì)產(chǎn)生100m左右的誤差。這些零件對(duì)加工過程中的精度控制要求很高，以高精度的回轉(zhuǎn)精度。伴隨著加工精度的提高，檢驗(yàn)平板對(duì)零件的形位誤差的檢測(cè)要求也越來越高，尤其是回轉(zhuǎn)體零件的形位誤差是影響機(jī)器和設(shè)備整體運(yùn)行精度的關(guān)鍵因素。因此對(duì)回轉(zhuǎn)體零件表面形位誤差的精度測(cè)量對(duì)于提高機(jī)械力日工及檢測(cè)精度具有重大意義，同時(shí)對(duì)于提升我國制造能力和產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力，促進(jìn)國民經(jīng)濟(jì)發(fā)展具有重要意義。測(cè)量?jī)x器的發(fā)展歷程經(jīng)歷了(0.5μm~0.05μm)的精密測(cè)量，到(0.05μm~0.005μm)的超精密測(cè)量的發(fā)展過程，近年來研究領(lǐng)域的專家又提出了(5nm一0.05nm)精度級(jí)別的研究方向。綜上所述，超精密測(cè)量?jī)x器和測(cè)量技術(shù)的研究與應(yīng)用已經(jīng)成為制造技術(shù)發(fā)展的重要因素。
　　形狀測(cè)量?jī)x是測(cè)量圓柱體回轉(zhuǎn)類零件表面形位誤差的主要儀器。形狀測(cè)量?jī)x的主要應(yīng)用領(lǐng)域包括軸類零件形位誤差的測(cè)量、球類零件測(cè)量、曲軸類零件測(cè)量、軸承內(nèi)外徑測(cè)量。目前，的形狀測(cè)量?jī)x產(chǎn)品已形成系列化針對(duì)不同的測(cè)量環(huán)境及測(cè)量要求推出了不同的精度等級(jí)及某些具有特殊測(cè)量功能(如深孔形位誤差測(cè)量)的形狀測(cè)量?jī)x產(chǎn)品。
　　世界上圓度儀是由英國在1949年制造的，英國形狀測(cè)量?jī)x的研制和生產(chǎn)處于國 際地位。我國計(jì)量科學(xué)研究院在上世紀(jì)60年代在國內(nèi)開展了圓度及圓柱度測(cè)量方面的研究工作，這是國內(nèi)的研究單位一次開展該領(lǐng)域的研究。我國計(jì)量研究院在19%年參加了“形狀測(cè)量"國 際對(duì)比，并和哈工大聯(lián)合研制了精密形狀測(cè)量?jī)x，是國內(nèi)較早在該領(lǐng)域進(jìn)行產(chǎn)品研制的單位，并取得了相應(yīng)的研究成果。國內(nèi)的形狀測(cè)量?jī)x產(chǎn)品雖然起步較晚，但是發(fā)展，目前國內(nèi)已經(jīng)有多家計(jì)量產(chǎn)品公司生產(chǎn)的形狀測(cè)量?jī)x產(chǎn)品在市場(chǎng)上銷售，并在國內(nèi)該領(lǐng)域的銷售市場(chǎng)上占據(jù)了很大一部分比重。
　　形狀測(cè)量?jī)x工作的核心部件是高精度高剛度回轉(zhuǎn)工作臺(tái)以及直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌副，因此這兩個(gè)部件也是生產(chǎn)企業(yè)的研究?；剞D(zhuǎn)工作臺(tái)和直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌副多采用氣體靜壓技術(shù)制造，具有精度高、運(yùn)行平穩(wěn)的特點(diǎn)。國內(nèi)相關(guān)領(lǐng)域的利研單位解決了該領(lǐng)域內(nèi)的許多技術(shù)問題，研制出了運(yùn)行精度可以達(dá)到同類產(chǎn)品精度的產(chǎn)品。我國國內(nèi)目前該領(lǐng)域內(nèi)存在的主要問題是該產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化過程和相比還有的差距，還有很多研究工作要做。
　　檢測(cè)是確定鑄鐵平臺(tái)鑄件能否達(dá)到設(shè)計(jì)要求的必 要的工序與手段。檢測(cè)通常分為下列幾類：
　　1、看外觀：表面缺陷檢測(cè)目測(cè)法、磁粉檢測(cè)、滲透檢測(cè)。
　　2、檢驗(yàn)棒：鑄鐵平臺(tái)試驗(yàn)棒檢測(cè)鑄鐵石墨形狀與結(jié)構(gòu)的聲波法；鋼鐵材料、非鐵金屬的組織硬度渦流法。
　　3、平臺(tái)內(nèi)部：內(nèi)部缺陷檢測(cè)射線照相法、熒光顯 示法、超聲波法。
　　4、平臺(tái)密度：壓力檢測(cè)法檢查鑄件滲漏、組織致密程度