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要想了解手動(dòng)測(cè)量?jī)x器的測(cè)量精度，就要知道影像測(cè)量?jī)x誤差的來源。 在影像測(cè)量?jī)x上的測(cè)量均是單軸或二維平面坐標(biāo)的測(cè)量,測(cè)量時(shí)先對(duì)焦,后對(duì)準(zhǔn) ,在讀數(shù)(計(jì)數(shù)) , 最后計(jì)算處理。讀數(shù)來自于標(biāo)尺即光柵系統(tǒng),對(duì)焦對(duì)準(zhǔn)依靠光學(xué)影像系統(tǒng),還有一一個(gè)直 接影響測(cè)量效果和精度的照明光源,因?yàn)? 于影像方法測(cè)量的儀器,如果被測(cè)件不能被有效正確的照明,則測(cè)量的結(jié)果顯然要偏離其真實(shí)尺寸。除前述因素外,環(huán)境條件也是制約測(cè)量精度不可忽視的因素?；谏鲜龇治?可以歸納-下幾個(gè)方面的誤差來源。
1 )光柵尺計(jì)數(shù)的誤差;
2)工作臺(tái)移動(dòng)時(shí)存在的直線度、角擺帶來的誤差;
3)工作臺(tái)兩測(cè)量軸垂直度帶的誤差;
4)鏡頭光軸與工作臺(tái)不垂直帶的誤差;
5)測(cè)量環(huán)境溫度變化帶來的誤差;
6)光源照明條件的變化帶來的對(duì)焦和對(duì)準(zhǔn)誤差。
在這幾種因素中,前四項(xiàng)誤差，是硬件誤差 , 在影像測(cè)量?jī)x制造過程中已經(jīng)形成并固定下來,一般無法改變 ,溫度影響帶來的誤差, 必須通過控制測(cè)量室的溫度和等溫過程來減小其影響。-項(xiàng)則常被忽視,而在實(shí)際測(cè)量中,當(dāng)光源照明條件改變時(shí),直接影響被測(cè)工件的照明效果和影像質(zhì)量，要是因?yàn)橛跋駵y(cè)量?jī)x的圖像是通過CCD接收,盡管CCD具有自動(dòng)調(diào)節(jié)增益的功能，但當(dāng)亮度過大時(shí)即失去調(diào)節(jié)功能,導(dǎo)致被測(cè)工件影像在縮小,當(dāng)亮度過低時(shí),工件影像反而變大。
這種影響,對(duì)于測(cè)量具有重復(fù)圖形結(jié)構(gòu)之間的間距時(shí),只要整個(gè)測(cè)量過程中照明條件保持不變, 其影響可以忽略,因?yàn)槊總€(gè)重復(fù)圖形結(jié)構(gòu)都同時(shí)在變大或者變小,間距的測(cè)量計(jì)算直接消除了影像變形的影響,如測(cè)量玻璃尺、網(wǎng)格板刻線間距;除了這種特殊情形外,如測(cè)量圓的直徑、工件的長(zhǎng)度和寬度,都將帶來明顯的誤差。