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雙頻激光干涉儀了解一下
點(diǎn)擊次數(shù):374 發(fā)布時(shí)間:2021-8-19
您有了解過雙頻激光干涉儀嗎?接下來上海泉田機(jī)電有限公司小編將與您分享雙頻激光干涉儀,進(jìn)來看看吧!
隨著20世紀(jì)60年代初激光的出現(xiàn),幾何量計(jì)量技術(shù)的發(fā)展步入了嶄新的時(shí)期。雙頻激光干涉儀正是利用激光具有頻率穩(wěn)定、單色性好等優(yōu)點(diǎn),在幾何量計(jì)量領(lǐng)域發(fā)揮著越來越重要的作用。雙頻激光干涉儀具有精度高、應(yīng)用范圍廣、環(huán)境適應(yīng)能力強(qiáng)、實(shí)時(shí)動態(tài)測速高等一系列的優(yōu)勢,成為幾何量計(jì)量活動的生力軍。相比于激光干涉儀,現(xiàn)代雙頻激光干涉儀擺脫了計(jì)量室的束縛,在越來越廣闊的工程測量領(lǐng)域大顯身手。因此,雙頻激光干涉的發(fā)明對計(jì)量事業(yè)的發(fā)展乃至整個(gè)科學(xué)事業(yè)的發(fā)展有著舉足輕重的作用。本文根據(jù)雙頻激光干涉儀應(yīng)用領(lǐng)域的新發(fā)展,對雙頻激光干涉儀的應(yīng)用進(jìn)行了簡要的總結(jié)。
雙頻激光干涉儀的發(fā)明把幾何量計(jì)量發(fā)展推向了又一個(gè)高峰,雙頻激光干涉儀是目前精度較高、量程較大的長度計(jì)量儀器,以其良好的性能、在很多場合,特別是在大長度與大位移的精密測量中得到普遍應(yīng)用。就長度計(jì)量而言,通常將200m以上的測量稱為距離測量(Distance Measurement),3m以下的稱為一般長度測量,3~200m之間的測量稱為大尺寸測量(Large Dimension Measurement)[1]。雙頻激光干涉儀在一般長度精密測量中多有使用。雙頻激光干涉儀可以在恒溫,恒濕,防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊,量桿,刻尺和坐標(biāo)測量機(jī)等,也可以在普通車間內(nèi)為大型機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定,既可以對幾十米的大量程進(jìn)行精密測量,也可以對手表零件等微小運(yùn)動進(jìn)行精密測量,既可以對幾何量如長度、角度.直線度、平行度、平面度、垂直度等進(jìn)行測量,也可以用于特殊場合,諸如半導(dǎo)體光刻技術(shù)的微定位和計(jì)算機(jī)存儲器上記錄槽間距的測量等等。不僅在單純的長度計(jì)量領(lǐng)域,在其他工程技術(shù)領(lǐng)域,雙頻激光干涉儀的應(yīng)用也越來越普遍,不乏一些很有創(chuàng)見的應(yīng)用。關(guān)于雙頻激光干涉儀在解決某個(gè)工程測量問題的研究已經(jīng)有非常多的成功案例,以雙頻激光干涉儀為關(guān)鍵詞的學(xué)術(shù)論文不勝枚舉,對雙頻激光干涉儀的應(yīng)用,國內(nèi)外很多學(xué)者常常有很獨(dú)到的理解。雙頻激光干涉儀的應(yīng)用也不斷發(fā)展更新,所以,有必要對它的應(yīng)用做一些有益的總結(jié),使人們更好的理解雙頻激光干涉儀的應(yīng)用,為推動生產(chǎn)發(fā)展提供一些理論依據(jù)。
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