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半自動晶圓減薄后撕膜機STK-5120

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更新時間:2021-05-14 13:04:40瀏覽次數:481

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產品簡介

產地 國產    
半自動晶圓減薄后撕膜機STK-5120

詳細介紹

半自動晶圓減薄后撕膜機STK-5120


半自動晶圓減薄后撕膜機STK-5120規(guī)格:
晶圓尺寸:8”12”晶圓;
厚度:150 ~750微米;
晶圓種類:硅、砷化鎵;平邊或V型缺口晶圓;
撕膠膜種類:撕膜膠帶;
寬度:38~100毫米;
長度:100米;
撕膜角度:<45度,并且在 5°~45°可調節(jié);
撕膜溫度:室溫到100 ℃范圍可調,控溫精度+/-3℃;
晶圓臺盤:通用防靜電特氟龍涂層接觸式金屬臺盤;
                帶可控加熱功能,溫度MAX可達100℃;
                臺盤帶吸真空功能;
裝卸方式:晶圓手動放置與取出;
防靜電控制:離子風扇;
晶圓定位:彈簧銷釘定位; 
控制單元:基于PLC 控制,并配有5.7”觸摸屏;
驅動單元:伺服馬達驅動; 
安全保護:配置緊急停機按鈕;
電源電壓:單相交流電220V,5A; 
壓縮空氣:5公斤清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘80升/分鐘;
機器外殼:白色噴塑金屬外殼; 
機器指示:三色燈塔顯示機臺工作狀態(tài);
體積:660毫米(寬) x 1170毫米(深) x 1000毫米(含燈塔高);
凈重:75公斤;


晶圓撕膜機性能
晶圓收益:≥99.9%;
撕膜質量:無裂片;
每小時產能:≥ 80片晶圓;
更換產品時間:≤ 5分鐘

 

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