旋轉(zhuǎn)精度0.04 μm（JIS B7451 ）

立柱直線度精度1.3 μm/700 mm

（700 mm長軸測(cè)量具使用）

在行業(yè)內(nèi)在X、Y、Z、θ各軸采用高

精度空氣軸承

此外，立柱、基座、R軸使用的是輝長巖，隨使用時(shí)間發(fā)生的變化小。

長期保證的高精度。

搭載全自動(dòng)7軸控制功能

保證XY工作臺(tái)、R軸的直線度精度

通過保證工作臺(tái)的直線度精度，可測(cè)量缸體那樣的缸孔間的平行度。

驅(qū)動(dòng)速度100 mm/sec、

縮短測(cè)量數(shù)據(jù)，提高效率

實(shí)現(xiàn)多個(gè)工件的全自動(dòng)測(cè)量

零件測(cè)量程序自動(dòng)調(diào)用功能（選配）

承載重量 可對(duì)應(yīng)1噸（選配）

Ｚ軸行程 可對(duì)應(yīng)1500mm（選配）