11月27-29日,第十屆(2022年)中國半導體設備年會暨半導體設備與核心部件展示會(CSEAC)在無錫太湖國際博覽中心舉辦。匯??萍家苍诒敬未髸性O展,現(xiàn)場展位(B3-129)展出數(shù)控機床、整體PCD刀具、超聲刀柄、精密刀柄等多款核心技術產(chǎn)品,同時還在主題論壇舉辦期間,向眾多半導體行業(yè)人士分享了匯專半導體行業(yè)加工整體解決方案,收獲現(xiàn)場觀眾的熱烈反響。
匯專展位
核心技術及產(chǎn)品引關注
本次展會,匯專在現(xiàn)場展示了數(shù)控機床、整體PCD刀具、超聲刀柄、精密刀柄等一系列自主研發(fā)的核心技術產(chǎn)品,持續(xù)不斷吸引眾多現(xiàn)場觀眾蒞臨展位參觀了解。
匯專核心技術及產(chǎn)品
01匯專超聲機床
主題演講
專業(yè)解決方案助半導體行業(yè)加工提質增效
本次展會舉辦期間,匯專科技集團股份有限公司半導體行業(yè)銷售總監(jiān)-李偉先生受邀擔任大會主論壇演講嘉賓,并帶來了主題為《匯專半導體行業(yè)加工整體解決方案》的分享。
匯專半導體行業(yè)加工整體解決方案是由匯專超聲機床、超聲加工系統(tǒng)、超聲冷壓刀柄或超聲熱縮刀柄、整體PCD鉆頭或整體PCD螺紋銑刀等核心技術產(chǎn)品組合應用到加工過程中的解決方案。該解決方案,可針對單晶硅、石英玻璃、碳化硅、鋁基碳化硅、氧化鋁、石英陶瓷、石墨、氮化硅、鋁合金、多晶硅、氧化鋯、氧化鋁、氮化鋁等多種半導體應用材料實現(xiàn)高精、高效、綠色加工。
接著,李偉先生向參會嘉賓分享了匯專半導體行業(yè)加工整體解決方案的成功應用案例。李偉先生表示:“匯專半導體行業(yè)加工整體解決方案已通過大量市場驗證,其加工效果獲得客戶的一致認可。我們希望通過超聲綠色數(shù)控機床及其精密部件創(chuàng)新技術的推廣應用,推動半導體行業(yè)精密加工技術的升級,進一步提高加工效率、提升產(chǎn)品品質。”
成功應用案例
01石英玻璃噴淋盤微小孔加工
噴淋盤
—— 加工材料:石英玻璃 ——
傳統(tǒng)加工難點:加工效率低、易崩邊
匯專解決方案:
匯專超聲綠色高效精密雕銑中心UGM-500
匯專超聲加工系統(tǒng)
匯專整體PCD鉆頭
匯專加工優(yōu)勢:
鉆頭壽命提升2倍,可連續(xù)穩(wěn)定加工2,200個D0.5x5mm的孔(深徑比10:1)
單孔加工時間由傳統(tǒng)的 270秒降到75秒,效率提升2.6倍
孔壁光滑,孔口崩邊量由0.4mm下降到0.13mm
02碳化硅噴淋盤鉆孔加工
噴淋盤
—— 加工材料:碳化硅 ——
傳統(tǒng)加工難點:高度依賴國外加工技術,高硬度,大深徑比
匯專解決方案:
匯專超聲綠色高效精密雕銑中心UGM-500
匯專超聲加工系統(tǒng)
匯專整體PCD鉆頭
匯專加工優(yōu)勢:
可連續(xù)穩(wěn)定加工100個D0.5X10mm的孔(深徑比20:1)
孔壁光滑、孔口無崩缺
03單晶硅噴淋盤孔加工
噴淋盤
—— 加工材料:單晶硅 ——
傳統(tǒng)加工難點:易崩邊;精度低;刀具壽命短;機床的防護等級低,絲桿、導軌易磨損
匯專解決方案:
匯專超聲綠色高效精密雕銑中心UGM-600
匯專超聲加工系統(tǒng)
匯專整體PCD鉆頭
匯專加工優(yōu)勢:
孔口無崩邊
可連續(xù)穩(wěn)定加工D0.65X15mm的孔(深徑比22:1)
真圓度、位置度有明顯提升
刀具壽命超過6,000個孔
04鋁基碳化硅螺紋孔加工
半導體部件
—— 加工材料:鋁基碳化硅 ——
傳統(tǒng)加工難點:單孔加工時間超3,600秒/個孔,耗時長,效率低;良率低,容易出現(xiàn)廢螺紋孔,造成大量工件報廢;刀具壽命<1個孔,需要6把絲錐才能完成1個孔;
匯專解決方案:
匯專超聲高效精密雕銑中心UGM-400
匯專超聲加工系統(tǒng)
匯專整體PCD螺紋銑刀
匯專加工優(yōu)勢:
效率顯著提升,加工單孔僅360秒
刀具壽命超54個孔,提升300倍以上
現(xiàn)場抽獎
歡樂多多
與此同時,在匯專展位,我們還開展了“關注公眾號,現(xiàn)場抽好禮”的互動活動,也得到了現(xiàn)場觀眾的踴躍參與。
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