2024年度德國(guó)工程技術(shù)領(lǐng)域最高榮譽(yù)“Werner-von-Siemens-Ring”獎(jiǎng)授予通快(TRUMPF)與蔡司(ZEISS)研究團(tuán)隊(duì)，以表彰其在高數(shù)值孔徑極紫外光刻(High-NA EUV)技術(shù)及其產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用方面取得的重大突破。這一前沿技術(shù)為高性能微芯片的制造提供關(guān)鍵支持，這類芯片廣泛應(yīng)用于智能手機(jī)、自動(dòng)駕駛等領(lǐng)域。
 

　　高效能、低成本芯片

 

　　
       目前，全球具備制造 High-NA EUV 光刻機(jī)能力的企業(yè)是荷蘭的阿斯麥 ASML 公司，其作為系統(tǒng)集成商構(gòu)建了整套系統(tǒng)架構(gòu)并設(shè)計(jì)了High-NA EUV 光源。此類光刻機(jī)的核心部件包括用于產(chǎn)生 EUV 光的通快高功率激光器和蔡司的光學(xué)系統(tǒng)。通過(guò) High-NA 技術(shù)和 EUV 光的結(jié)合，微芯片結(jié)構(gòu)得以以之前未有的精度呈現(xiàn)，從而使得芯片在性能和能效方面實(shí)現(xiàn)了顯著提升。
 

　　前沿技術(shù)邁向量產(chǎn)

 

　　Werner-von-Siemens-Ring 基金會(huì)理事會(huì)主席 Cornelia Denz 表示：“技術(shù)創(chuàng)新的重大突破，往往源自大型國(guó)際研究團(tuán)隊(duì)多年甚至數(shù)十年的持續(xù)耕耘。面向未來(lái)芯片制造的光刻技術(shù)正是這一典型的范例。該獎(jiǎng)項(xiàng)由通快的 Michael Kösters 博士與蔡司半導(dǎo)體制造技術(shù)部門(SMT)的 Peter Kürz 博士代表其團(tuán)隊(duì)領(lǐng)取。我衷心祝賀他們?cè)诳萍继剿髋c企業(yè)戰(zhàn)略遠(yuǎn)見上的杰出成就和表現(xiàn)。”
 

Michael Kösters 博士
 

　　通快首席技術(shù)官 Berthold Schmidt 表示：“我們非常榮幸能獲得這一獎(jiǎng)項(xiàng)，這一殊榮再次印證了 High-NA EUV 技術(shù)在全球范圍內(nèi)所蘊(yùn)含的巨大潛力。我們與蔡司及荷蘭科技企業(yè) ASML 的合作，生動(dòng)詮釋了21世紀(jì)技術(shù)創(chuàng)新的誕生過(guò)程，我們共同書寫了這一傳奇。”
 

　　光學(xué)系統(tǒng)與激光器

 

　　
       通快憑借其全球很強(qiáng)的脈沖工業(yè)激光器，為先進(jìn)微芯片的制造提供了關(guān)鍵支持——這類芯片已廣泛應(yīng)用于智能手機(jī)制造。Schmidt 指出：“通快是目前全球能夠生產(chǎn) High-NA EUV 光刻所需激光器的企業(yè)。沒(méi)有這類激光器，諸如人工智能和自動(dòng)駕駛等對(duì)計(jì)算能力有很高要求的技術(shù)將難以實(shí)現(xiàn)。”
 

　　蔡司董事會(huì)成員、半導(dǎo)體制造技術(shù)部門總裁兼首席執(zhí)行官 Andreas Pecher 表示：“這一殊榮是對(duì)我們團(tuán)隊(duì)的極大肯定。微芯片是推動(dòng)社會(huì)進(jìn)步、經(jīng)濟(jì)發(fā)展和數(shù)字化變革的核心力量。我們始終致力于突破技術(shù)邊界，開發(fā)更具成本效益的微芯片制造解決方案。這一切離不開我們與戰(zhàn)略合作伙伴ASML、通快以及眾多其它企業(yè)的緊密協(xié)作。我們?yōu)檫@一共同成就倍感自豪。”
 

　　關(guān)于 Werner-von-Siemens-Ring 獎(jiǎng)
 

　　“ Werner-von-Siemens-Ring ”獎(jiǎng)被譽(yù)為德國(guó)工程技術(shù)領(lǐng)域的最高榮譽(yù)之一，旨在表彰那些推動(dòng)科學(xué)技術(shù)進(jìn)步或開辟創(chuàng)新技術(shù)路徑的杰出人物。該獎(jiǎng)項(xiàng)及其歷屆獲獎(jiǎng)?wù)?，在過(guò)去百余年來(lái)始終是激勵(lì)一代又一代技術(shù)與科學(xué)研究人員的重要榜樣?；饡?huì)理事會(huì)成員不僅包括往屆獲獎(jiǎng)的杰出人士，還匯聚了來(lái)自德國(guó)聯(lián)邦物理技術(shù)研究院(PTB)、德國(guó)科學(xué)基金會(huì)(DFG)、德國(guó)弗朗霍夫應(yīng)用研究促進(jìn)協(xié)會(huì)(FhG)、德國(guó)馬克斯普朗克學(xué)會(huì)(MPG)、德國(guó)科學(xué)資助者協(xié)會(huì)、德國(guó)工業(yè)聯(lián)合會(huì)(BDI)以及德國(guó)工程與科學(xué)技術(shù)協(xié)會(huì)(DVT)等頂尖科研機(jī)構(gòu)的高層代表。